（一）一般規定
1、特種設施的安裝施工，應符合下列規定：
（1）相關的土建工程己驗收合格，并辦理交接手續。
（2）應按工程設計文件和相關設備出廠技術說明要求進行安裝。
（3）各種設備及其附件、材料（包括填充材料）已進行現場檢查、檢驗，并應符合工程設計和設備技術要求。認真并進行進場記錄。
2、對氣密性、滲漏性控制嚴格的特種設施的設備、附件等，安裝前應嚴格檢查密封狀況，若發現異常，應與供貨商共同檢查，經確認不影響使用功能后才能進行安裝。
3、對特種設施的承壓設備、附件，應具有壓力試驗、無損探傷等有效檢驗合格文件。無合格文件者，不得進行安裝。
4、有爆炸危險或有毒的氣體、液體、有機溶劑等相關的設備、附件，應具有有效檢驗的合格文件，不符合規定者不得進行安裝。
5、分類、分系統進行安裝質量驗收，一般宜與供應系統的試運轉結合進行。
6、有防靜電接地要求的設施，在安裝就位或系統管道安裝完成后進行可靠接地。
（二）高純氣、特種氣體供應設施的安裝
1、管路系統的試運轉應包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗和純度測試。
2、高純氣體、特種氣體供應設施安裝前，應按工程設計文件和產品說明書或合約的要求，檢查設備（包括填充的純化材料等）、閥門和管件的完整性、密封性，并作檢查記錄。
3、純化設備、特氣柜的搬運、就位應符合下列規定：
（1）搬入潔凈室（區）前，應進行認真的清潔，符合要求后從規定的設備搬入口運入。
（2）整體設備搬運時，應按設備的構造、管道及閥門等附件的配置狀況安全運輸，不得倒置，并可靠固定。
（3）設備就位時，應按工程設計文件和產品說明書要求，準確做好接管、接線定位。
（4）就位后，水、電接口應按工程設計文件要求連接。
（5）氣體管道接口，應在分系統的氣體輸送管道安裝試運轉合格后才能連接。
4、高純氣體、特種氣體系統的閥門箱、吹掃盤的安裝，應符合下列要求:
（1）檢查箱體及箱內閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書等，并作好記錄。
（2）安裝位置應按工程設計文件、產品說明書要求進行，并檢查接管、接線方位的正確性。
（3）氣體管道接口，應在所在系統試運轉合格后才能連接。
5、高純氣體、特種氣體設施施工安裝試運轉的純度測試，應符合下列要求：
（1）純度測試介質，宜采用工作氣體進行。
（2）測試氣體的壓力，宜與輸送介質的設計壓力相同。
（3）測試氣體的檢測取樣口或排氣接口，應設在供氣系統中要求氣體純度及其雜質含量嚴格且距離長的用氣設備處。
（4）純度測試過程，取樣時間的間隔宜為4h左右；氣體樣品應采用與輸送介質純度及允許雜質含量相應的精度等級的儀器進行分析。
（5）當測試氣體的進、出口的純度及其雜質含量（一般以氧痕量濃度、水痕量濃度為代表）一致時，即認為純度測試合格。
6、管路系統的試驗應符合下列要求：
（1）高純氣體、特種氣體供應設施的強度試驗、氣密性試驗和泄漏量試驗及試驗壓力，均應按工程設計文件要求。
（2）試驗氣體宜采用無油干燥壓縮空氣或純氮或氦氣；試驗氣體壓力按規定逐步升至系統強度試驗壓力后，保持10min，然后降壓至氣密性試驗壓力，檢查接口、焊縫是否泄漏，以不漏為合格。
（3）氣密性試驗合格后，進行泄漏量試驗，試驗氣體為純氮或無油干燥壓縮空氣時，系統以設計壓力保持24h，檢查泄漏率不超過0.5％為合格。采用氦氣為試驗氣體時，系統以設計壓力保持1h，檢查泄漏率不超過0.5％為合格。若不合格，檢查原因并進行完善后，再進行泄漏量試驗，直至合格為止。
（4）管路系統的試驗，一般均不包含純化設備、特氣柜和閥門箱等。
7、管路吹掃應符合下列要求：
（1）應按氣體品種、工作參數分系統分別進行吹掃。
（2）管路系統應采用0.3.0.5MPa的無油干燥壓縮空氣或純氮進行吹掃，吹掃氣體應設置過濾精度嚴于0.31tm氣體過濾器去除微粒；對輸送可燃氣體的管路宜采用純氮吹掃。
（3）在管路系統吹掃氣體排出口設靶檢查，以靶上未見微粒為合格；對輸送可燃氣體的管路系統，應以排出口吹掃氣體中含氧量小于1％為合格。
（三）純水供應設施的安裝
1、純水供應設施安裝前，應按工程設計文件和產品說明書或合約的要求檢查、核對設備（包括填充的材料、元件等）、閥門和管件的完整性、密封性，并作好檢查、核對記錄。
2、純水管道及其閥門、附件的材質，應按工程設計文件和產品生產要求進行選擇。
3、單體設備的搬運、就位應符合下列要求：
（1）搬入潔凈室（區）內的單體設備，應進行認真清潔后才能搬入。
（2）裝有填料或元件的單體設備，應按要求的方向進行搬運、就位，不得倒置。
（3）單體設備就位時，應按工程設計文件和產品說明書要求，正確進行定位。
4、潔凈室（區）內純水末端處理設備的安裝，應符合下列要求：
（1）純水管道接管，應在純水系統安裝后經試驗及試運轉合格后連接。
（2）接管、接線后，應按工程設計文件和產品說明書進行試運轉。
5、藥品和保健品等生產用純水系統的安裝，應符合下列要求：
（1）根據使用特點和工程設計文件要求，準確選擇管路材質、閥門、附件，并不得對水質產生污染和引起腐蝕或損傷。
6、管道系統的試驗、試運轉，應符合下列要求：
（1）管道系統的試驗應按工程設計文件要求進行水壓試驗。
（2）管道系統的試驗、試運轉，通常不包括末端處理裝置等。
（3）試驗合格后，以同等水質的純水進行清洗，直至在管路末端無雜質、污染物為合格。
（4）有特殊要求的純水系統，應按設計要求進行脫脂、清洗、鈍化、合格后，并按規定進行消毒滅菌。
（5）純水水質試驗，以本系統同樣水質的純水進行試驗，水質分析采樣日應為水質要求嚴格且距離長的用戶末端處：取樣時間間隔為2-4h，以系統的始端、末端的水質相同為合格。
7、管道清洗應符合下列要求：
（1）管道清洗先以清潔水沖洗，末端檢查無雜物后，以同等水質的純水清洗。
（2）清洗時，應關斷所有接至單體設備的閥門，管道系統的過濾器濾芯應卸下，待清洗合格后原樣恢復。
（四）化學品供應設施的安裝
1、本節適用于潔凈廠房中工業產品生產所需的酸、堿、有機物質等化學品供應設備、輸送管路系統的安裝施工質量驗收。
2、化學品供應設施安裝前，應按設計文件和產品說明書的要求或合約規定檢查設備、容器、閥門和附件的完整性和密封性等，并作檢查記錄。
3、化學品供應設施中的各類泵的安裝施工應符合現行國家標準《壓縮機、風機、泵安裝工程施工及驗收規范》GB 50275的規定。
4、潔掙室（區）內化學品輸送管道系統的閥門箱等的安裝，應符合下列要求：
（1）檢查箱體及箱內閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書，并作好檢查記錄。
（2）就位安裝應按工程設計文件、產品說明書要求進行，并檢查接管、接線方位的正確性。
（3）各種管道的連接，應在所在系統吹掃或清洗合格后進行。
5、化學品供應設施的容器、管道及其閥門、附件的材質，應符合工程設計文件要求。
6、容器的搬運、安裝就位，應符合下列要求：
（1）搬入潔凈室（區）前，應進行清潔，符合要求后從規定的搬入口運入。
（2）容器搬運，應根據容器結構、規格尺寸及接管配置狀況，進行可靠的固定，不得倒置。
（3）就位前，檢查基礎平整度、高度，基礎表面的水平度不得大于2%，標高偏差不大于2mm。
（4）容器各接管中心與基礎面上的基準線對準、測量，其允許偏差為3mm。
（5）容器安裝就位后的垂直度，不應大于2‰。
7、化學品供應設施的低碳不銹鋼管、PE管、PVDF管等的管道系統安裝施工見相關規定。
8、管道吹掃或清洗，應符合下列要求：
（1）按各種化學品供應系統，分別在安裝完成后分系統進行吹掃或清洗。
（2）吹掃或清洗宜采用干燥壓縮空氣或純氮或清潔水，吹掃介質壓力為0.2-0.3MPa：吹掃管道應設置過濾精度高的過濾器。
（3）吹掃清洗時，應關斷所有接至各類容器的閥門；管道系統的過濾器濾芯，流量計應卸下，待吹掃后按原樣恢復。
（4）各系統的吹掃應反復多次沖擊進行，吹掃時間不宜少于2.0h，并以濕的白色濾紙或白布或涂有白色漆的靶板放在吹掃氣排出口，經5min后檢查微粒狀況。不合格時，繼續吹掃，直至合格。
9、管道系統的試驗、試運轉應符合下列要求：
（1）管道系統的試驗應按工程設計文件要求進行強度試驗、氣密性試驗，金屬管道的試驗方法參照現行國家標準《工業金屬管道工程施工及驗收規范》GB50235的規定進行。
（2）管道系統的試驗、試運轉，通常不包括各類容器、泵類等設備。
（3）承壓管道應進行強度和嚴密性試驗，強度試驗的試驗壓力為設計壓力的1.5倍，嚴密性試驗的試驗壓力為設計壓力的1.15倍。非承壓管道應進行滿水試驗。
（4）試驗合格后，以純水或氮氣進行清洗吹掃，直至末端無雜質、污染物為合格。