由于潔凈室對排除室內污染物的要求高，因此比一般空調房間的通風換氣量要大很多。1～5級高級別潔凈室的通風換氣次數甚至高達幾百次之多，是普通舒適性空調房間換氣次數的幾十倍。正因為需要巨大的通風換氣量，從節省驅動能耗及減少輸送氣流的沿程熱損耗的角度出發，就要盡可能拉近機房與潔凈室的距離。這也正是廣泛采用裝置在潔凈室內的風機過濾器機組的原因之一。由于機械設備運轉造成的機械振動與噪聲、空調凈化系統較高的靜壓值及系統中氣流引起的噪聲與微振等，都比一般空調系統更為突出，因此潔凈室的噪聲與微振成為了其性能的關注目標之一。潔凈室內一般的生產操作和設備都十分精細，過高的噪聲與微振將影響工作效率、產品成品率。同樣，多數潔凈室対照度也有較高要求，這也與其產品與工藝的細微有關。
1、相關的標準與規定
潔凈室的噪聲、微振與照度，相關規范ISO 14644均未作具體要求，而是建議由用戶與供應商、承包商依照其它相關標準，采用協商一致的辦法在合同中規定。工程竣工時依合同的規定進行檢驗。國家標準GB 50073-2001對噪聲的限制值規定如下：
（1）潔凈室內的噪聲聲級（空態），非單向流潔凈室不應大于60dB（A），單向流、混合流潔凈室不應大于65dB（A）。各頻帶聲壓級不宜大于下表規定：

（2）潔凈室的容許振動值，應由所設置精密設備、精密儀器或儀表的設備制造廠商和生產工藝部門提供。當用戶和相關部門不能提供容許振動值時，國家標準GB 50073-2001建議，可參照GBJ22《隔振設計規范》執行。具體指標在檢測工作開展之前，仍需與用戶及供應商、承包商協商確定。
國家標準GB 50073-2001對潔凈室的照度有下表規定：

2、噪聲、微振與照度的檢測
（1）噪聲測試
按照國內行業標準JGJ 71-90《潔凈室施工及驗收規范》的規定，潔凈室面積在15m²以下時，可在室中心位置測量房間噪聲，大于15m²時，一般按5個測點采樣，除房間兩對角線相交的室中心位置外，另在房間四角對角線上對稱的選取4點，測點高度一般距地面1.1m。通常采用帶倍頻程分析儀的聲級儀在規定位置測定噪聲，一般僅測A聲級的數值，必要時測倍頻程聲壓級。
對于噪聲有更嚴格要求的場所需要測定噪聲標準曲線NC或房間標準曲線RC，可參考NEBB所編寫的《潔凈室評價測試的學習課程》。
（2）微振測試
國內標準建議測點選在室中心地面和認為有必要測試振動的位置和地面上，以及壁板裝配式潔凈室的各獨立壁板表面的中心處。
應分別測出室內全部空調凈化設備，處于正常運轉和停止運轉兩種情況下，X、Y、Z，即縱向、橫向和垂直軸3個方向上的振幅值，并應特別注意測定同轉動設備的轉速相對應頻率下的振幅。
選用振動分析計測定微振時，要注意其檢測精度是否滿足測試要求。
（3）照度測試
室內照明必須在室溫已趨穩定，光源光輸出趨于正常的條件下進行。一般要求新裝日光燈已有100h，新裝白熾燈已有10h使用期；舊日光燈必須已點燃15min，舊白熾燈已點燃5min后進行測試。
通常規定潔凈室照度只測除特殊照明之外的一般照明。國內標準規定，測點平面離地面0.8m，按1～2m間距布置，測點宜離地面0.5～1.0m。
NEBB要求將房間劃分為0.6m見方的小面積，在離地面760mm的中心位置測照度，關于照度平均值的獲得還有一系列規定與方法，詳見NEBB《潔凈室評價測試的學習課程》。